Шта је ултразвучно прскање фоторезистом?

Опрема за ултразвучни фоторезист премаз је специјализовани уређај за фоторезистирање премаза заснован на технологији ултразвучне атомизације. Првенствено се користи у областима прецизне производње као што су полупроводници, панели, плочице, МЕМС и фотонапонски уређаји. Он атомизује фоторезист у ултрафине капљице величине нано/микрона-, равномерно их распршујући на површину супстрата као што су плочице и стаклене подлоге, замењујући традиционалне процесе центрифугирања-превлачења и потапања-.

 

Једноставно речено, то је основна опрема у „фази наношења отпорног премаза“ процеса фотолитографије, која се може похвалити предностима као што су висока прецизност, висока униформност, ниска потрошња отпора и без вртложних/дебелих ивица, што га чини погодним за захтеве за премазивање фоторезистом напредних процеса.

 

Основне технолошке предности(у поређењу са традиционалним центрифугирањем/премазивањем потапањем)

Фотоотпорни премаз је кључни корак пре{0}}процеса у фотолитографији, а уједначеност дебљине филма директно утиче на тачност фотолитографије. Основне предности опреме за ултразвучно распршивање далеко надмашују оне традиционалних процеса, што је такође главни разлог за њено широко усвајање у напредним производним процесима.

 

1. Ултра-висока униформност премаза:Уједначеност дебљине филма Мања или једнака ±1%, елиминишући "дебеле ивице и конкавне центре" центрифуге, погодне за захтеве фотолитографије напредних процеса као што су 7нм/5нм;

 

2. Изузетно ниска потрошња фоторезиста:Спин Цоатинг има стопу искоришћавања фоторезиста од само 10~20%, док ултразвучно прскање може да достигне 80~95%, што значајно смањује цену фоторезиста (потрошни материјал са високим-трошком);

 

3. Широк опсег дебљине филма који се може контролисати:Могућност облагања танких филмова од 10 нм до 100 μм, погодних и за ултра- танке и за дебеле слојеве фотоотпорности (нпр. фотолитографија за паковање, МЕМС фотолитографија дубоких рупа);

 

4. Нема оштећења од механичког стреса:Без центрифугалне силе или велике{0}}брзине ротације подлоге, избегавајући савијање и пуцање плочице/подлоге, погодно за ломљиве подлоге (нпр. ултра-танке плочице, флексибилне подлоге);

 

Прилагодљиво на сложене подлоге:Прилагодљиво на сложене подлоге: Може премазати не-планарне подлоге, дубоке рупе/ жлебове подлоге, велике-подлоге и неправилне облике који се не могу обрадити центрифугирањем

 

Еколошки прихватљиво и{0}}без загађења:Мала потрошња лепка, изузетно мала запремина отпадне течности издувних гасова, без прскања магле лепка као код центрифугирања, испуњавајући захтеве чисте производње.