Како ултразвучна млазница за прскање облаже фоторезист?

Ултразвучна технологија наношења спреја је нова технологија која тренутно игра значајну улогу у различитим индустријама. Већи број купаца сада бира ултразвучну млазницу за премазивање. У поређењу са традиционалним дво-прскањем, ултразвучно распршивање нуди значајне предности у квалитету премаза, коришћењу материјала и компатибилности процеса.

 

Наша компанија нуди бесплатне услуге тестирања узорака, а све већи број купаца нам шаље узорке на тестирање. Наша опрема је добила позитивне критике и признања наших купаца.

 

Данас ћемо разговарати о ултразвучном прскању фоторезистом, релативно уобичајеном типу прскања материјала.

 

Фоторезист је материјал од танког филма који је осетљив на светлост или зрачење и првенствено се користи за фино шарање у пољима као што су интегрисана кола и дисплеји. Служи као премаз отпоран на нагризање{1}}у процесу фотолитографије. Његова растворљивост се мења при излагању светлости, формирајући жељени образац кола. Фоторезисти су категорисани у позитивне-тонове (изложене области се растварају) и негативне-тонове (неекспониране области се растварају). У зависности од извора светлости експозиције, класификовани су на УВ, дубоку УВ, екстремну УВ и отпорност на електронски сноп.

Срж технологије распршивања ултразвучног фоторезиста је употреба енергије ултразвучне вибрације за постизање ефикасне и униформне атомизације фоторезиста. Прецизна контрола протока ваздуха затим испоручује атомизоване капљице на површину подлоге, формирајући-премаз високог квалитета. Процес се може поделити у три кључне фазе:

 

 

1. Атомизација фотоотпорника: Високе{1}}вибрације разбијају површински напон течности.

Основна компонента технологије ултразвучног прскања је ултразвучна млазница за распршивање, у којој се налази пиезоелектрични керамички вибратор. Када се на вибратор примени електрични-сигнал високе фреквенције, он генерише механичке вибрације на истој фреквенцији, преносећи енергију вибрација на површину распршивача млазнице. Након што се фоторезист испоручи на површину за распршивање кроз систем за довод течности, вибрације високе{3}}високе фреквенције брзо разбијају површински напон течности, формирајући микронске- капљице величине уједначеног пречника (обично 5μм-50μм).

У поређењу са традиционалном атомизацијом под притиском (која се ослања на проток ваздуха под високим{0}}притиском да би разбио течност), ултразвучна атомизација елиминише потребу за ометањем протока ваздуха под високим{1}}притиском, што доводи до уједначеније расподеле величине капљица (унутар ±10%). Такође избегава прскање капљица или ометање површине подлоге услед удара ваздуха.

 

2. Прецизна контрола путање преноса

Наша компанија има професионалне инжењере програмирања који могу самостално програмирати путању распршивања атомизације. Такође можемо прилагодити различите путање прскања према захтевима купаца. Имамо зрело искуство у производњи комплетних машина. За сваки уређај програмирамо га за купца. На екрану, клијент види-путу прскања у реалном времену. Поред избора путање, такође морамо да прилагодимо брзину протока ваздуха (да контролишемо растојање преноса, обично 5-50 мм) и релативну позицију млазнице и супстрата (користећи роботску руку или транслациону фазу за тродимензионално позиционирање), обезбеђујемо да атомизоване честице стигну до површине супстрата вертикално и равномерно, избегавајући неуједначену дебљину ваздушног тока.

3. Формирање филма премаза: очвршћавање на ниској-температури осигурава интегритет структуре

Након што се атомизоване капљице таложе на површину супстрата, оне пролазе кроз процес очвршћавања на ниској-температури (обично 60 степени -120 степени , далеко ниже од високих{5}}температура очвршћавања традиционалног центрифугирања) да би се формирао филм. Очвршћавање на ниским температурама не само да спречава деформацију подлоге или деградацију материјала узроковану високим температурама, већ и смањује акумулацију напрезања унутар фоторезиста, побољшавајући адхезију премаза и структурни интегритет, постављајући добру основу за накнадне процесе фотолитографије.